ich glaube nicht das Du auch nur annähernd auf 1 µm genau messen kannst. Dafür brauchst Du ja eine Messauflösung von sagen wir mal 0,1 µm. In dem Bereich wirst Du mit "handelsüblichen" Lösungen nicht mehr hinkommen. Mit Laserlinien-Triangulationsgeräte kommst Du so in den Bereich von 10 µm. Jenoptik hat was optisches mit Kamerasystem das geht runter in den einstelligen µm Bereich. Danach wird es echt schwierig und teuer ...